台積電將於2024年引進最強EUV曝光機 - 自由財經

〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電2022年技術論壇由北美場於當地時間16日揭開序幕，台積電研發資深副總經理米玉傑在論壇中指出，台積電將於2024年引進高數值孔徑極紫外光（high-NA EUV）曝

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